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LEXT OLS4500纳米检测显微镜 产物引见
LEXT OLS4500是一款集成了激鲜明微镜和探针扫描显微镜服从于一体的新型纳米检测显微镜,能够完成从50倍到最高100万倍的超大范围的观察和丈量。您能够在光学显微镜情势、激鲜明微镜情势和探针显微镜情势之间自由切换,而不用担心目标损失。
LEXT OLS4500纳米检测显微镜技术
光学显微镜的道理和专长 光学显微镜是从样品上方映照可见光(波长约400 nm到800 nm),操纵其反射光成像,能够放大样品数十倍到一千倍中心停止观察。光学显微镜的专长是能够实在观察彩色样品,还能够切换观察办法,夸大样品表面的凹凸,操纵物质的特征(偏光性)停止观察。OLS4500上能够利用下述观察办法。
明视场观察:最根柢的观察办法,经过历程样品的反射光成像停止观察。 |
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激鲜明微镜的道理和专长 可停止亚微米级观察和丈量的激鲜明微镜 光学显微镜的平面辩白率很大水平上取决于所用光的光子和波长,接纳短波长的激光扫描显微镜(LSM)比接纳可见光的传统显微镜,具有更高的平面辩白率。LEXT OLS4500接纳405 nm的短波长半导体激光、高数值孔径的公用物镜、和配合的共焦光学体系,能够到达0.12 μm的平面辩白率。别的,OLS4500配有奥林巴斯独有的扫描加扫描型2D扫描仪,能够完成高达4096×4096像素的高精度XY扫描。 |
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探针显微镜的道理和专长 能够观察纳米级微观天下的探针显微镜 探针显微镜(SPM)是经过历程机器式地用探针在样品表面移动,检测出探针与样品之间发生的力、电的相互感化,同时停止扫描,从而得到样品影象。探针尖端曲率半径为10 nm中心。典范的探针显微镜是原子力显微镜(AFM),它经过历程检测探针和样品表面之间感化的引力和张力停止扫描并得到影象。探针显微镜能够观察纳米级微观形貌,能够捕捉到样品最精密的一面。 |
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LEXT OLS4500纳米检测显微镜完成了无缝观察和丈量
利用光学显微镜的多种观察办法, 快速找到观察工具
OLS4500接纳了红色LED光源,能够观察到色彩传神的高辩白率彩色影象。它装有4种物镜,涵盖了低倍到高倍的大范围观察。OLS4500充实阐扬了光学观察的专长,除最常利用的明视场观察(BF)以外,还能够利用对细小的凹凸增长明暗比较,到达视觉平面结果的微分干涉观察(DIC),和用色彩暗示样品偏光性的浅易偏振光观察。别的,OLS4500上还配有HDR服从(高静态范围服从),该服从利用差别的暴光工夫拍摄多张影象后停止分解,来闪现亮度均衡更好、夸大了纹理的影象。在OLS4500上您能够利用多种观察办法快速找到观察工具。
利用激鲜明微镜,能够观察到光学显微镜中难以观察到的样品影象
OLS4500接纳了短波长405 nm的激光光源和高N.A.的公用物镜, 完成了优秀的平面辩白率。 能以较着的影象闪现出光学显微
镜中没法看到的观察工具。 在激光微分干涉(DIC)情势中还能够实时观察纳米级的细小凹凸。
3种选项情势,帮手您完成各种分析
电流情势
对样品施加偏置电压,检测出微悬臂与样品之间的电流并输出影象。别的,还能够停止I/V丈量。
表面电位情势(KFM)
利用导电性微悬臂并施加交流电压,检测出微悬臂与样品表面之间感化的静电,从而在影象中闪现样品表面的电位。
磁力情势(MFM)
在相位情势中利用磁化后的微悬臂停止扫描,检测出振动的微悬臂的相位提早,从而在影象中闪现样品表面的磁力信息。
高精度微悬臂完成了高牢靠性
探针显微镜的平面辩白率由探针前真个直径决定。奥林巴斯伶仃开辟、消耗微悬臂,其探针前真个尖锐直径质量稳定,牢靠性很高。别的,奥林巴斯的一系列首创假想—使探针定位更加简朴的“TipView”构造、镊子型易于夹取物体的“新观点探针”等,不但前进了观察精度,还使操纵变得更加轻松。
OMCL-AC160TS-C3 尺度硅胶微悬臂
高Q值带来的高辩白率丈量
该型号是最常利用的静态情势公用微悬臂, 适用于表面粗糙度丈量。
OMCL-AC240TS-C3 低弹簧常数硅胶微悬臂
可用于再现性较好的粘性和弹性丈量
该型号作为静态情势公用的硅胶微悬臂,其弹簧常数最小《2N/m(Nom.)》,适用于粘性、弹性的丈量等。
OMCL-TR800PSA-1 尺度氮化硅微悬臂
低消耗、优秀的耐久性
该型号经常使用于打仗情势,其特征是探针柔嫩、探针消耗较小。每个前端带有100μm和200μm长两种微悬臂。
兼容多种微悬臂。微悬臂更换办法简朴而易于把握
请按照您的利用频度按期更换微悬臂。OLS4500上的电植物镜转换器、SPM测头、微悬臂支架曾经被精确调解过, 所以只需把已调好微悬臂地位的支架插入SPM测头中即完成更换。微悬臂和支架的地位调解需求利用公用工装夹具, 所以谁都能够精确而轻松的完成操纵。别的, 其他各种型号的微悬臂也按照一样办法更换, 前进了观察和丈量的服从。
DVD表面
(扫描地区 5μm×5μm 3D影象)
可分明观察到DVD刻录面的凸起和表面形状
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维氏硬度计压痕
(扫描地区 20μm×20μm 3D影象)
可分明观察到从压痕顶角延长的裂缝
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TiO2单结晶电路板 (扫描地区 5μm×5μm 3D影象) 可观察到约0.3 nm的TiO2(二氧化钛)的原子台阶
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IC元件圆孔 (扫描地区 4μm×4μm 3D影象) 可观察到元件表面附着的细小异物(红色部门)
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高分子薄膜 (扫描地区 10μm×10μm 3D影象) 可观察到薄膜表面的划痕(中心靠左) |
铝合金阳极氧化膜
(扫描地区 1.8μm×1.8μm 表面电位情势(KFM情势)左:高度影象 右:电位影象)
观察到铝合金阳极氧化膜的表面形状(左)的同时,观察到表面电位(右) |
1.在探针显微镜中弄丢了观察工具。
固然在观察公用的光学体系中找到了观察目标点,但是切换到SPM观察后却没法获得目标点的影象。
完成纳米级观察的新型显微镜。不会损失锁定的目标。
配有涵盖了低倍观察到高倍观察的4种物镜,并在电植物镜转换器上装配了SPM单元。能够无缝切换倍率和观察办法,不会损失观察工具。别的,该款显微镜能够停止纳米级观察。
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2.找不到观察工具。
传统的探针显微镜上装配的光学体系倍率较低,所以会找不到晶圆或结晶表面上的细小缺点,大概找到这类缺点十分破费工夫。
涵盖了低倍到高倍观察,并配有多种观察办法能够快速发明观察工具。
能够完成低倍到高倍的大范围倍率观察。不但云云,先辈光学技术打造的光学显微镜带来多种观察办法,能够简朴的发明观察工具。别的,关于光学显微镜难以找到的观察工具,还能够利用激鲜明微镜停止观察。在激光微分干涉(DIC)观察中,能够停止纳米级细小凹凸的实时观察。
3.想要收缩获得目标影象的工夫。
经过历程其他装置找到观察工具后,再把样品重新放到探针显微镜上,需求多次扫描才气够获得目标影象。因此十分破费工夫。
收缩从安排样品到获得影象的事情工夫。
安排好样品后,统统的操纵都在1台装置上完成。能够快速,精确的把观察工具移到SPM显微镜上面,所以只需扫描1次就可以获得所需的SPM影象。
4.评价样品时, 必须分别利用差别种类的显微镜。
评价之前没有操纵过的样品时,必须检验考试分别利用差别种类的显微镜。
一体机的机型,所以无需重新安排样品只需在1台装置上切换倍率、观察办法就可以够活络应对新样品。 OLS4500是把光学显微镜、激鲜明微镜、探针显微镜融于一体的一体机,所以无需重新安排样品,便可自由切换3种显微镜停止观察和评价。这3种显微镜各矜持有优秀的性能,所以能够高效输出最好功效。 |
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奥林巴斯(中国)有限公司是一家主营产业、医疗和消耗者市场的国际公司,专业停止光学、电子学和精密性工程钻研。 涵盖了各种产业抢先技术的投资信息,包罗创新型检测、丈量和影象装备的投资信息。各种先辈的检测技术,包罗:内窥检测技术(RVI)、显微镜技术(IE)、超声波技术(UT)、相控阵技术(PA)、涡流技术(EC)、涡流阵列技术(ECA)、X射线荧光技术(XRF)和光学丈量技术。我们的产物包罗超声波探伤仪、测厚仪、内窥镜、管道镜、显微镜、先辈的在线无损检测体系、XRF和XRD分析仪、干涉仪,并有各种产业扫描仪、探头、软件法式和装备附件可供选择。
我们的目标是为环球的消耗者供给牢靠、经济的体系。为此,我们增强了体系的宁静性和质量,包管了消耗者的消耗劲,从而为社会作出贡献。我们不竭自动开辟新技术、新产物和新效率,包管一直用最超卓的计划满意消耗者的需求。因为产物的质量直接干系到我们抵消耗者的任务,因此在停止高质量的产物假想时,我们一直服从最高的产业尺度和规章,以确保产物对公众的宁静。
主机 规格 |
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LSM部门 |
光源、检出体系 |
光源:405 nm半导体激光、检出体系:光电倍增管 |
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总倍率 |
108~17,280X |
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变焦 |
光学变焦:1~8X |
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丈量 |
平面丈量 |
重复性 |
100x : 3σn-1=0.02μm、50x:3σn-1=0.04μm、20x:3σn-1=0.1μm |
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精确性 |
丈量值的±2%以内 |
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高度丈量 |
方法 |
物镜转换器高低驱动方法 |
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路程 |
10mm |
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内置比例尺 |
0.8nm |
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移动辩白率 |
10nm |
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闪现辩白率 |
1nm |
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重复性 |
100x :σn-1= 0.012μm、50x:σn-1=0.012μm、20x:σn-1=0.04μm |
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精确性 |
0.2+L/100 μm以下(L=丈量长度) |
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彩色观察部门 |
光源、检出体系 |
光源:红色LED、检出体系:1/1.8英寸200万像素单片CCD |
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变焦 |
码变焦:1~8X |
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物镜转换器 |
6孔电植物镜转换器 |
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微分干涉单元 |
微分干涉滑片:U-DICR、内置偏振光片单元 |
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物镜 |
明视场平面半消色差透镜5X LEXT公用平面复消色差透镜20X、50X、100X |
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Z对焦部门路程 |
76 mm |
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XY载物台 |
100 x 100 mm(电动载物台) |
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SPM部门 |
运转情势 |
打仗情势、静态情势、相位情势、电流情势* 、表面电位情势(KFM)*、磁力情势(MFM)* |
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位移检出体系 |
光杠杆法 |
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光源 |
659 nm半导体激光 |
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检出装备 |
光电检测器 |
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最大扫描范围 |
X-Y:最大 30 μm x 30 μm、Z:最大 4.6 μm |
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装置微悬臂 |
在盒式微悬臂支架上一键装置。利用微悬臂装置地位调解 公用工装夹具预对位,更换支架时无需光学调解。 |
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体系 |
总重量 |
约440 kg(不包罗电脑桌) |
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I额定输入 |
100-120 V/220-240 V、600 VA、50/60 Hz |
微悬臂 规格 |
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用处 |
型号 |
范例 |
探针数目 |
微悬臂 |
探针 |
材质 |
金属膜 |
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共振频次 |
弹簧常数 |
高度 |
前端半径 |
探针/ |
探针涂层/ |
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静态情势/ |
OMCL-AC160TS-C3 |
尺度硅胶 |
24 |
300 |
26 |
14 |
7 |
Si / Si |
无 / Al |
OMCL-AC240TS-C3 |
低弹簧常数硅胶 |
24 |
70 |
2 |
14 |
7 |
Si / Si |
无/Al |
|
打仗情势 |
OMCL-TR800PSA-1 |
尺度氮化硅 |
34 |
73 / 24 |
0.57 / 0.15 |
2.9 |
15 |
SiN / SiN |
无/Au |
表面电位情势 |
OMCL-AC240TM-B3 |
电气丈量公用硅胶 |
18 |
70 |
2 |
14 |
15 |
Si / Si |
Pt/Al |