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SURFCOM 5000DX表面粗糙度仪 商品引见
達到天下最高水準的0.3nm辩白率
● 檢測器採用高穩定雙光路型He-Ne雷射干涉儀。
● 在大範圍下仍具備高辩白率。
傳動部配備線性馬達（已得到專利）
● 透過線性馬達傳動，達成高精確度、高速移動。
● 低落振動量，高倍率下亦可穩定測量。
測量1次便可分析粗度及輪廓
可在连结高精確度的条件下，提拔測量服从。
在維持精確度的条件下胜利達到大型化
安裝完設備本體後亦可加裝CNC事情臺
高穩定雙光路型雷射干涉感測器
● 配備全新開發、運用東京精密公司的主要技術「光纖雷射干涉測距系統」、辩白率可達0.3nm的高穩定雙光路型雷射干涉感測器。
● 動態範圍及辩白率比為43 333 000：1 ，只需掃描一次便可評估大範圍的輪廓形狀及該形狀中所隱藏的細微表面形狀。
大範圍、自動測量
● 掃描工件後會偵測工件的傾斜度，並讓傳動部自動執行水平校订動作，讓工件和傳動部平行。
● 測量範圍大，橫向為200mm、縱向為13mm
● 能以±45° 自動把握傳動部的傾斜度
● 可透過教導、重現服从，自動處理自開始測量起至列印為止的連續流程。
*傳動部位傾斜裝置為SURFCOM 5000DX-T、SD-T型的標準配備。
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丈量范围（mm）
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Z轴（纵向）
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13mm/50mm测臂、臂26mm/100mm测臂
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X轴（横向）
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200mm
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精度
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Z轴唆使精度（纵向）
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±(0.2+2 H /100) mm （±0.206μｍ/ H±6ｍｍ）
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丈量辩白率
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0.31ｎｍ/50ｍｍ测臂
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X轴唆使精度（横向）
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±0.2＋L/1000μｍ （±0.4μｍ/L200ｍｍ）
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丈量辩白率
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0.54nm
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直线度精度
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0.05＋3L/10000μｍ （0.11μｍ/L200ｍｍ）
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丈量方法
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Z轴（纵向）高稳定倍光路型激光干估计
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X轴（横向）反光分析光尺
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粗糙度处理服从
参数或计算范例 |
JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO1997、ISO1984、DIN1990、ASME1995、符合CNOMO
尺度Ra,Rq,Ry,Rp,Pv,Rc,Rz,Rmax,Rt.Rz,J,R3z,Sm,S,R△a,R△q,Rla,Rlq,TILTA.Ir.Pc.Rsk.Rku. Rk.Rpk.Rvk,Mr1,Mr2,VO,K,tp,Rmr Rmr2,Rdc,AVH,Hmax,Hmin,AREANCRX,R,Rx,AR,NR,CPM, SR,SAR |
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评价曲线
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剖面曲线、粗糙度曲线、滤波纹度曲线、滤波中心线波纹度曲线、转动圆波纹度曲线、转动圆中心线
波纹度曲线、KIN4776特别曲线、粗糙度中襟曲线(Motif)波纹度中襟曲线(Motif)、包络波纹度曲线 表面特征图表负荷曲线、功率谱曲线图、振幅分曲线 |
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倾斜赔偿
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直线赔偿、R面赔偿、前半赔偿、后半赔偿、中心赔偿、花键曲线赔偿（直线、R面、中心赔偿可
以在随便范围内） |
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CUTOFF值
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0.008、0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8、25、50mm（9级）随便（0.001-50mm）
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纵倍率
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50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K、50K、100K、200K、500K、1000K、2000K倍
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横倍率
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0.1、1、2、5、10、50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K倍
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表面度处理服从
参数或计算范例 |
点、直线、部门圆、椭圆、最在点、最小点、距离、坐标着、极坐标差、直交/极坐标差闪现、交叉
要素（点-直线、直线-下线、圆-直线、圆-圆、圆-椭圆）、对称要素（点-点、点-圆、点-椭圆、直 线-直线、圆-圆、圆-椭圆、椭圆¬-椭圆）、面积计算、Overpin计算、尺寸线闪现服从、计算功效与 假想值比对、镜面反转、形状合胜利能、宏服从、自动要素判定、计算点的重复服从、工件轨迹功 能、峰值谷值搜刮服从、自动操纵纪录.回放服从、形状假想值比对、最好似合服从、假想值生成、 |
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IGES/DXF转换
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基准设定原点设定、X轴设定、平行移动、反转展转移动
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最小丈量间距
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0.0005~1mm
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最大丈量点数
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最大150,000点
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纵倍率
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0．01～10,000,000倍（随便、自动）
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横倍率
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0．01～10,000,000倍（随便、自动）
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驱动速率
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高低移动速率（Z轴）
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0~200mm/s
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丈量速率（X轴）
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0.03~3mm/s（粗糙度丈量时） 0.02~20mm/s（表面度丈量时）
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移动速率（X轴）
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0.02~60mm/s
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高低驱动范围
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500mm
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驱动部交流式
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0.75mN、2mmR半径、金刚石
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驱动部交流式
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0.75mN、2mmR半径、金刚石
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订货号 |
产物称呼 |
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MM-02426-00 |
S5000DX表面粗糙度丈量机 |
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MM-02426-90 |
DM48588通用测针 |
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MM-02426-91 |
DM48515深槽用测针 |
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MM-02426-92 |
DM48514极小孔用测针 |
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MM-02426-93 |
DM48513小孔用测针 |
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MM-02426-94 |
DM48511光角度用测针 |
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MM-02426-95 |
DM48510高低丈量用测针 |
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MM-02426-96 |
DM48509表面用高刚性测针 |
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MM-02426-97 |
DM48508表面用高刚性测针 |
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MM-02426-98 |
DM48507通用高刚性测针 |
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MM-02426-99 |
DM48505通用测针 |
东京精密简介
东京精密，英文名：ACCRETECH，ACCRETECH－其发音为a-krei-tek，是英文ACCRETE（融合，配合发展）和TECHNOLOGY（科技，技术）的复合词，意味着汇合各方面的技术，聪慧，人才，资本缔造天下一流的产物。东京精密，作为一家精密丈量装备及半导体制作装备公司，从1949年创立至今，不竭都努力于满意客户需求的高消耗性能产物开辟与客户支撑效率。
东京精密大事记
1949年，东京精密建立。
1994年，东京精密建立北京办事处；建立中国效率中心（北京）；东京精密开端在中国贩卖丈量仪器；与计量院合作供给技术效率。
1996年，东京精密上海办事处建立，增强对上海周边客户的效率。
1999年，东京精密深圳办事处建立，增强珠三角地域的效率
2002年，东京精密中法律国法公法人公司——东精精密装备（上海）有限公司建立，设立保税库，能够停止群众币营业结算。东精精密装备(上海)有限公司作为日本东京精密在中国的营业纽带，卖力东京精密消耗的统统产物在中国的贩卖及效率事情。
2003年，建立重庆办事处，增强中国西南地域的效率。
2009年，泰亚赛福与东京精密再次签约，成为东京精密在中国地域的代庖代理商。
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